温度制御チャンバー

●受注時の苦労
このチャンバーは6m*6mのサイズで、天井面に1~1.5トンの装置が設置されるので、通常は、こんな荷重がかからず鉄板を塑性変形させたりすることで剛性を持たせるのであるが、フレーム+鉄板の構造体で耐えうるかどうかの設計に時間を要した。

●製品製作時の工夫
部品点数が1000ピース程度になり、工場内での組み立て(試運転用)の効率化をはかるたえ、三次元の部品組立図を作成した。

●その他のエピソード
毎回苦労するのであるが、清浄度の測定で、高性能フィルタと筐体の取付面及びその周囲からのリークが発生し、その原因がわからずシールしてもリークがとまらず半日を要することが多々おこる。これは、清浄度のパーティクルサイズ0.1ミクロン(1ミクロン=1/1000ミリ)なので少しの不良部(いろんな原因の複合要素)でも見逃すと発見しにくいので、トラブルが発生すると処理に時間がかかる。

●お客さまの声
性能の安定性(温度、清浄度)が非常に重要だ。

●導入スケジュール
設計/1ヶ月
製造/2~3ヶ月

●導入費用
700~800万程度