温(湿)度 制御チャンバー

温(湿)度制御チャンバーは、レーザー測長及び温度による伸縮等による精度、微粒子の付着等の無い環境を提供するものです。
システムは、直膨冷却コイル+再熱制御+加湿制御を基本とし清浄度は、ULPAフィルタを吹き出し面に設置し作業空間尾クリーン度を維持しています。その他、低湿度(30%RH以下)ノンリークに対応したケーシングでの設計も可能です。